단지소개




장안단지
* 제2클린룸과 SiC 웨이퍼 후면 가공장비 5종 및 신뢰성장비 22종 구축 및 운영중



부산시 기장군 동남권 의과학산업단지內

( 부지 4,667㎡ / 연면적 5,793㎡ / 건축면적 1,728㎡ )

장안단지 장비 구축 현황

후공정 장비 5종 / 신뢰성 장비 22종

제 2 클린룸

  • 기장군 장안읍 동남권 방사선 의과학 산업단지 내에 부산테크노파크 장안단지 2층에 위치하고 있으며, 클린룸 면적은 1,380㎡으로 2020년 12월 현재는 공간에 대한 건축만 완료된 상태
  • 2021년부터 공조설비 등 각종 클린룸 유틸리티 설비를 설치할 계획
  • 유틸리티 설치와 동시에 생산량 병목 장비 6종을 2022년까지 추가로 제2클린룸 내에 도입하여 가동할 예정

후공정 장비실

  • 기장군 장안읍 동남권 방사선 의과학 산업단지 내에 부산테크노파크 장안단지 3층에 위치하고 있으며, 클래스1,000의 간이 클린룸부스로 운영중
  • 6인치(150mm) SiC 웨이퍼 뒷면 가공 및 측정 장비 5종이 구축 및 운영중

신뢰성 장비실

  • 기장군 장안읍 동남권 방사선 의과학 산업단지 내에 부산테크노파크 장안단지 3층에 위치하고 있으며, 시뮬레이터와 환경시험장비 15종과 물리분석장비 6종을 구축 및 운영 예정
  • 2020년 12월 현재 12종이 도입 완료되었으며, 2021년 9종, 2022년 1종이 도입될 예정