단지소개
부산시 기장군 동남권 의과학산업단지內
장안단지 장비 구축 현황
제 2 클린룸
• 기장군 장안읍 동남권 방사선 의과학 산업단지 내에 부산테크노파크 장안단지 2층에 위치하고 있으며, 클린룸 면적은 1,380㎡
• 2021년부터 공조설비 등 각종 클린룸 유틸리티 설비를 설치완료 후 가동중
• 유틸리티 설치와 동시에 생산량 병목 장비 6종을 제2클린룸 내에 도입하여 가동중
후공정 장비실
• 기장군 장안읍 동남권 방사선 의과학 산업단지 내에 부산테크노파크 장안단지 3층에 위치하고 있으며,
클래스1,000의 간이 클린룸 부스로 운영중
• 6인치(150mm) SiC 웨이퍼 뒷면 가공 및 측정 장비 5종이 구축 및 운영중
신뢰성 장비실
• 기장군 장안읍 동남권 방사선 의과학 산업단지 내에 부산테크노파크 장안단지 3층에 위치하고 있으며,
시뮬레이터와 환경시험장비 15종과 물리분석장비 6종을 구축 및 운영중
• 2020년 12월 12종이 도입 완료되었으며, 2021년 9종, 2022년 1종이 추가 도입되어 가동중
제 2 클린룸
후공정 장비실
신뢰성 장비실